자동 초음파 포토레지스트 코팅 시스템
자동 초음파 포토레지스트 코팅 시스템 치어소닉의 초음파 코팅 기술은 스핀 코팅을 대체하여 높은 균일성, 내구성 및 화학 물질 소비량 감소를 달성함으로써 반도체 산업의 수율 향상, 중요 치수 정밀도 강화 및 지속 가능한 제조를 지원합니다. 문의하기 USP6000WS 자동 초음파 포토레지스트 코팅 시스템 치어소닉은 반도체 산업에서 기존 스핀 코팅 방식을 대체하는 웨이퍼 레벨 초음파 코팅 시스템을 제공하여 포토리소그래피 공정에 탁월한 필름 균일성, 공정 제어 및 [...]

