Ultraschall-Sprüh-Fotoresist-Technologie

Ultraschall-Sprüh-Fotoresist-Technologie – Cheersonic

Die Photoresist-Abscheidungstechnologie ist eine in der Mikroelektronikfertigung häufig verwendete Technologie, mit der mikroelektronische Komponenten wie Mikroprozessoren, integrierte Schaltkreise und optische Geräte hergestellt werden können. Das Prinzip der Photoresist-Abscheidungstechnologie besteht darin, die lichtempfindlichen Eigenschaften von Photoresist zu nutzen, um Siliziumwafer oder andere Substrate mithilfe einer Photolithographiemaschine mit Photoresist zu beschichten und dann den Photoresist durch Schritte wie Belichtung und Entwicklung in die gewünschte Oberfläche zu formen. Das Muster wird schließlich durch Ätzen und andere Prozesse auf das Substrat übertragen.

Vorteile des Ultraschallspritzens:

1. Materialverschwendung reduzieren und Kosten senken. Der Herstellungs- und Verarbeitungsprozess von Fotolack ist relativ kompliziert, daher sind die Kosten für Fotolack relativ hoch, und beim herkömmlichen Sprühen mit zwei Flüssigkeiten kann es leicht zu Spritzern und Rückschlägen kommen, was zu Materialverschwendung führt. Beim Ultraschallsprühen werden Ultraschallvibrationen verwendet, um es in feine Partikel zu zerstäuben und diese auf die Oberfläche des Substrats fallen zu lassen, wodurch die Materialverschwendung erheblich reduziert wird.

2. Das Gerät ist mit einer Abgasfunktion ausgestattet, um die Umweltverschmutzung zu reduzieren. Beim Aufsprühen von Fotolack können sich giftige Gase verflüchtigen. Ultraschall-Sprühgeräte können Abgase rechtzeitig abgeben, um die Wahrscheinlichkeit zu verringern, dass der menschliche Körper giftige Gase einatmet.

3. Ultraschallzerstäubungssprühen zur Verbesserung der Gleichmäßigkeit des Sprühens. Bei Verwendung des Ultraschallzerstäubungsbeschichtungsverfahrens ist die Beschichtungsgleichmäßigkeit höher als beim herkömmlichen Zwei-Flüssigkeits-Sprühen.

Über Cheersonic

Cheersonic ist der führende Entwickler und Hersteller von Ultraschallbeschichtungssystemen zum Auftragen präziser Dünnschichtbeschichtungen zum Schutz, Festigen oder Glätten von Oberflächen auf Teilen und Komponenten für die Mikroelektronik/Elektronik, alternative Energie, Medizin und Industrie, einschließlich spezialisierter Glasanwendungen im Bau und Automobil.

Unsere Beschichtungslösungen sind umweltfreundlich, effizient und äußerst zuverlässig und ermöglichen eine drastische Reduzierung des Übersprays, Einsparungen beim Rohstoff-, Wasser- und Energieverbrauch und eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit, Transfereffizienz, hohe Gleichmäßigkeit und reduzierte Emissionen.