Sprühbeschichtung von Fotoresist
Sprühbeschichtung von Fotoresist – Ultraschallbeschichtungssystem – Cheersonic
Die Ultraschall-Sprühbeschichtungsmaschine UAM6000 kombiniert neue Sprüh- und Steuerungstechnologie, um eine gleichmäßigere, dichtere und kontrollierbare Dünnschichtbeschichtung zu erzielen. Die Ausrüstung integriert mehrere Systeme, wie Ultraschall, Trägergas, Heizplatte, Vakuumadsorption und Abgasableitung. Gleichzeitig kann es auf eine vollständige Palette von Ultraschalldüsen angewendet werden, die für die Filmvorbereitung in mittelgroßen und großen Produktionsbereichen geeignet sind. UAM6000 ist weit verbreitet zum Sprühen von Photoresist für MEMS-Wafer und andere Substrate mit unterschiedlichen Topographien.
Der Haftvermittler und der Fotolack sollten durch die Ultraschalldüse aufgetragen werden. Die präzise Steuerung des Flüssigkeitseinlasssystems und das vernünftig gestaltete Sprühverfahren sorgen für ein gleichmäßiges und effizientes Besprühen des Substrats.
Starten Sie die Heizfunktion, die für das anschließende Sprühen bequem ist.
Laden Sie die Flüssigkeit in das Einlasssystem und leiten Sie sie in die Ultraschalldüse ein und verwenden Sie die Ultraschall-Einspritzpumpe, um den Betriebszustand der Düse zu überprüfen.
Wählen Sie das experimentelle Sprühverfahren und die Sprühparameter auf dem Touchscreen zum Sprühen aus
Cheersonic ist der führende Entwickler und Hersteller von Ultraschallbeschichtungssystemen zum Aufbringen präziser Dünnfilmbeschichtungen zum Schützen, Verstärken oder Glätten von Oberflächen auf Teilen und Komponenten für die Mikroelektronik/Elektronik, alternative Energien, Medizin und Industrie, einschließlich spezialisierter Glasanwendungen im Bauwesen und Automobil.
