MEMS-Wafer-Photoresist-Ultraschall-Spritzen

MEMS-Wafer-Photoresist-Ultraschall-Spritzen – Cheersonic

In den letzten zehn Jahren wurden Fotoresistbeschichtungen direkt auf MEMS-Wafer und andere 3D-Mikrostrukturen gesprüht, und die Vorteile der Sprühabscheidung gegenüber der 3D-Topographie wurden ausführlich untersucht.

Im Vergleich zur herkömmlichen Schleuderbeschichtung hat die Fotolackbeschichtung durch Ultraschallsprühen Vorteile beim Abscheiden einer gleichmäßigeren Beschichtung, insbesondere auf den Seitenwänden von Gräben mit hohem Seitenverhältnis und V-Nut-Strukturen, die nicht durch Zentrifugalschleudern abgeschieden werden können. Eine gleichmäßige Beschichtung bildet eine Einheitlichkeit Film entlang der Seitenwände, ohne überschüssiges Photoresist auf dem Boden des Hohlraums abzuscheiden.

Das Ultraschallsprühen ist ein einfaches, wirtschaftliches und wiederholbares Verfahren zur Photoresistbeschichtung bei der lithografischen Waferverarbeitung. Ultraschallbeschichtungssysteme verwenden fortschrittliche Schichttechniken, um die Durchflussrate, die Beschichtungsrate und das Auftragsvolumen fein zu steuern. Die Strahlformung mit niedriger Geschwindigkeit definiert den zerstäubten Strahl als ein präzises, kontrolliertes Muster, das Overspray vermeidet und gleichzeitig eine sehr dünne, gleichmäßige Schicht erzeugt. Das direkte Sprühen mit Ultraschalltechnologie hat sich als zuverlässige und effektive Methode zum Aufbringen von Fotolack auf 3D-Mikrostrukturen erwiesen, wodurch Geräteausfälle reduziert werden, die durch übermäßige Einwirkung von Ätzmitteln auf Metalle verursacht werden.

Über Cheersonic

Cheersonic ist der führende Entwickler und Hersteller von Ultraschallbeschichtungssystemen zum Auftragen präziser Dünnschichtbeschichtungen zum Schutz, Festigen oder Glätten von Oberflächen auf Teilen und Komponenten für die Mikroelektronik/Elektronik, alternative Energie, Medizin und Industrie, einschließlich spezialisierter Glasanwendungen im Bau und Automobil.

Unsere Beschichtungslösungen sind umweltfreundlich, effizient und äußerst zuverlässig und ermöglichen eine drastische Reduzierung des Übersprays, Einsparungen beim Rohstoff-, Wasser- und Energieverbrauch und eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit, Transfereffizienz, hohe Gleichmäßigkeit und reduzierte Emissionen.