Labor-Ultraschall-Sprühpyrolyse-Ausrüstung

Labor-Ultraschall-Sprühpyrolyse-Ausrüstung – Cheersonic

UAM2000 ist ein Labor-Ultraschall-Sprühpyrolysegerät, bei dem Parameter wie die Abgaberate der Lösung und die Geschwindigkeit der Sprühkopfbewegung präzise über eine Softwareschnittstelle gesteuert werden. Eine von einem Schrittmotor gesteuerte Verdrängerpumpe wird verwendet, um die Lösung je nach Bedarf abzugeben. Der Ultraschall-Sprühkopf sorgt für eine Dünnfilmbeschichtung und seine Bewegung wird von den schrittmotorgetriebenen Lineartischen in X- und Y-Richtung gesteuert, um eine gleichmäßige Beschichtung zu gewährleisten. Das Sprühbild und die Geschwindigkeit können durch Veränderung des Druckluftdrucks an der Düse angepasst werden. Die Temperatur der Substratheizplatte wird unabhängig durch eine dedizierte Steuerung gesteuert.

Die Sprühpyrolyse ist ein Verfahren, bei dem ein dünner Film durch Sprühen einer Lösung auf eine erhitzte Oberfläche abgeschieden wird, wo der Bestandteil reagiert, um eine chemische Verbindung zu bilden. Das Verfahren ist besonders nützlich für die Abscheidung von Oxiden und ist seit langem ein Produktionsverfahren zum Aufbringen eines transparenten elektrischen Leiters aus Zinnoxid (SnO 2 ) oder Zinnoxid auf einem Glassubstrat. Jetzt wird diese Technik zunehmend zur Herstellung von Perowskit-Dünnfilmen verwendet, beispielsweise in Perowskit-Solarzellen.