Fotoresist-Sprühsystem
Fotoresist-Sprühsystem – Ultraschall-Fotolack-Sprühsystem – Cheersonic
Das Ultraschall-Fotolack-Sprühsystem eignet sich hervorragend für die Fotolack-Abscheidung auf MEMs mit hohen Seitenverhältnissen und sorgt für gleichmäßigere Beschichtungen als herkömmliche Schleuderverfahren.
Die Wafergrößen reichen von 50 mm Durchmesser bis 300 mm Durchmesser. Die Beschichtungsdicken reichen von 0,5 Mikrometer bis 10 Mikrometer. Auf Kundenwunsch können Schichtdicke und Gleichmäßigkeit zertifiziert werden.
Über Cheersonic
Cheersonic ist der führende Entwickler und Hersteller von Ultraschallbeschichtungssystemen zum Auftragen präziser Dünnschichtbeschichtungen zum Schutz, Festigen oder Glätten von Oberflächen auf Teilen und Komponenten für die Mikroelektronik/Elektronik, alternative Energie, Medizin und Industrie, einschließlich spezialisierter Glasanwendungen im Bau und Automobil.
Unsere Beschichtungslösungen sind umweltfreundlich, effizient und äußerst zuverlässig und ermöglichen eine drastische Reduzierung des Übersprays, Einsparungen beim Rohstoff-, Wasser- und Energieverbrauch und eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit, Transfereffizienz, hohe Gleichmäßigkeit und reduzierte Emissionen.
