Sprühbeschichtung von quadratischen Siliziumwafern
Sprühbeschichtung von quadratischen Siliziumwafern Sprühbeschichtung von quadratischen Siliziumwafern - Fotolackspritzen - Cheersonic Die Ultraschall-Sprühtechnologie kann zum Sprühen von Fotolack verwendet werden und eignet sich besonders zum Beschichten von Fotolack auf quadratischen Siliziumwafern. Die Schichtdicke kann mehrere zehn Nanometer betragen. Das Sprühen von Fotolack ist ein wichtiger Schritt in der Halbleiterfertigung, und die Ultraschall-Sprühtechnologie spielt dabei eine Schlüsselrolle. Es verbessert die Qualität und Gleichmäßigkeit der Beschichtung, wodurch der Fotolack [...]