Polyimid beschichten

Polyimid beschichten – Automatisierte Dünnschichtbeschichtungsmaschine – Cheersonic

Ultraschall-Spritzbeschichtungssysteme haben sich für verschiedene Anwendungen bewährt, bei denen gleichmäßige, wiederholbare Beschichtungen von Photoresist- oder Polyimidfilmen erforderlich sind.

Basierend auf der folgenden Anwendung,
a. Substrat: Siliziumwafer mit mikrometerdicker Polyimidschicht
b. Siliziumwaferfläche: 80 cm^2
c. Flüssigkeit: Montmorillonit, Polyvinylalkohol und deionisiertes Wasser

Ich empfehle die Ultraschall-Spritzbeschichtungsmaschine UAM4000L, die Konfiguration ist wie folgt.
1. Übungssystem: koordinierte Bewegung in X-Y-Z-Achsen
2. Steuersystem: 7-Zoll-Touchscreen mit benutzerfreundlicher Schnittstelle F&E-Embedded-System, 3 Benutzer-Login-Ebenen – Operator, Supervisor und Engineer
3. Frachtsystem: Sprühbereich von 150 * 150 mm / 300 * 300 mm / 400 * 400 mm
4. Ultraschallsystem: 1 Satz Ultraschall-Sprühsystem, fokussierte Düse (Sprühbreite von 2-10 mm) oder breite Düse (Sprühbreite von 10-60 mm)
5. Flüssigkeitsversorgungssystem: 1 Stück Präzisionsspritzenpumpe und 1 Satz Präzisionsspritze
6. Abgassystem und Beleuchtungssystem