Fotolack-Werkzeug sprühen

Fotolack-Werkzeug sprühen – Ultraschall-Sprühsystem – Cheersonic

UAM4000L ist ein vollständig geschlossenes unabhängiges Ultraschall-Beschichtungssystem zum Aufsprühen von Photoresist auf 4″, 6″ und 8″-Wafer in der Entwicklung und Herstellung von Präzisionshalbleitern. Das System hat eine hohe Gleichmäßigkeit, auch für schwierige Teile mit hohen Aspektverhältnissen.

Cheersonics UAM4000L wurde für Prozesse entwickelt, bei denen die Schleuderbeschichtung keine ausreichend tiefen Rillen mit einem gleichmäßigen MEM-Abdeckungsverhältnis mit hohem Aspektverhältnis bereitstellen kann. UAM4000L verfügt über viele proprietäre Funktionen, die speziell für diese Spritzprozesse konfiguriert wurden. UAM4000L ist mit der patentierten Ultraschalldüse von Cheersonic mit integrierter Absaugvorrichtung und Reinigungsfunktion ausgestattet und kann Overspray effektiv verhindern. Ultraschalldüsen haben weiche zerstäubte Tröpfchen und gezielte Sprüheigenschaften, die den Materialverbrauch um bis zu 90% reduzieren können, ohne zu verstopfen, mit hoch wiederholbarer Leistung und fast ohne Abfall.