Fotolack-Sprühbeschichter für MEMs-Produkte

Fotolack-Sprühbeschichter für MEMs-Produkte – Cheersonic

Der Fotolack-Sprühbeschichter, der speziell für MEMS-Produkte (Mikroelektromechanische Systeme) entwickelt wurde, hat sich als bahnbrechende Neuerung im Bereich der Mikrofertigung erwiesen. Er verfügt über Ultraschall-Sprühbeschichtung, eine revolutionäre neue Technik zur Fotolackabscheidung.

Anders als herkömmliche Beschichtungsverfahren nutzt die Ultraschall-Sprühbeschichtung die Kraft von Ultraschallschwingungen. Diese Schwingungen zerlegen die Fotolacklösung in extrem feine Tröpfchen und sorgen so für eine äußerst gleichmäßige Abscheidung auf den MEMS-Substraten. Bei der MEMS-Herstellung ist Präzision von größter Bedeutung, da diese winzigen Geräte oft komplexe Geometrien aufweisen und eine präzise Kontrolle der Schichtdicke und -qualität erfordern. Bei der Herstellung von Mikrosensoren oder -aktoren beispielsweise kann die gleichmäßige Verteilung des Fotolacks durch Ultraschallsprühen die Empfindlichkeit und Gesamtleistung des Geräts verbessern.

Darüber hinaus bietet diese Technik eine verbesserte Reproduzierbarkeit und ermöglicht konsistente Produktionsläufe. Darüber hinaus wird der Materialabfall reduziert, da die feinen Tröpfchen präzise gezielt eingesetzt werden können. Somit handelt es sich um eine umweltfreundliche und kostengünstige Möglichkeit zur Herstellung hochwertiger MEMS-Produkte.

Über Cheersonic

Cheersonic ist der führende Entwickler und Hersteller von Ultraschallbeschichtungssystemen zum Auftragen präziser Dünnschichtbeschichtungen zum Schutz, Festigen oder Glätten von Oberflächen auf Teilen und Komponenten für die Mikroelektronik/Elektronik, alternative Energie, Medizin und Industrie, einschließlich spezialisierter Glasanwendungen im Bau und Automobil.

Unsere Beschichtungslösungen sind umweltfreundlich, effizient und äußerst zuverlässig und ermöglichen eine drastische Reduzierung des Übersprays, Einsparungen beim Rohstoff-, Wasser- und Energieverbrauch und eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit, Transfereffizienz, hohe Gleichmäßigkeit und reduzierte Emissionen.