초음파 스프레이 포토레지스트 기술

초음파 스프레이 포토레지스트 기술 – Cheersonic

포토레지스트 증착 기술은 마이크로전자공학 제조에 흔히 사용되는 기술로, 마이크로프로세서, 집적회로, 광학소자 등의 마이크로전자부품을 제조하는 데 사용될 수 있다. 포토레지스트 증착 기술의 원리는 포토레지스트의 감광성을 이용하여 포토리소그래피 기계를 통해 실리콘 웨이퍼나 기타 기판에 포토레지스트를 코팅한 후 노광, 현상 등의 단계를 거쳐 원하는 표면에 포토레지스트를 형성하는 것입니다. 패턴은 에칭 및 기타 공정을 통해 최종적으로 기판에 전사됩니다.

초음파 분무의 장점:

1. 재료 낭비를 줄이고 비용을 절감합니다. 포토레지스트의 준비 및 가공 공정은 상대적으로 복잡하므로 포토레지스트 비용이 상대적으로 비싸고 기존의 2유체 스프레이는 튀거나 튀어오르기 쉬워 재료 낭비가 발생합니다. 초음파 분사는 초음파 진동을 이용하여 미세한 입자로 분무하여 기판 표면에 떨어지게 하여 재료 낭비를 크게 줄입니다.

2. 장비에는 배기 가스 기능이 통합되어 환경 오염을 줄입니다. 포토레지스트를 분사하는 과정에서 유독가스가 휘발될 수 있습니다. 초음파 분무 장비는 배기 가스를 적시에 배출하여 인체가 유독 가스를 흡입할 가능성을 줄일 수 있습니다.

3. 분무의 균일성을 향상시키기 위한 초음파 분무 분무. 초음파 분무 코팅 공정을 사용하면 코팅 균일성이 기존 2유체 스프레이보다 높습니다.

치어소닉 소개

Cheersonic은 마이크로전자공학/전자공학, 대체 에너지, 의료 및 산업 시장을 위한 부품 및 구성 요소의 표면을 보호, 강화 또는 매끄럽게 하기 위해 정밀한 박막 코팅을 적용하기 위한 초음파 코팅 시스템의 선도적인 개발 및 제조업체입니다. 자동차.

당사의 코팅 솔루션은 환경 친화적이고 효율적이며 신뢰성이 높으며 과다 분무, 원료, 물 및 에너지 사용을 크게 줄이고 공정 반복성, 전달 효율성, 높은 균일성 및 배출량 감소를 제공합니다.