실험실 초음파 스프레이 열분해 장비

실험실 초음파 스프레이 열분해 장비 – CHEERSONIC

UAM2000은 용액의 디스펜싱 속도 및 스프레이 헤드 이동 속도와 같은 매개변수가 소프트웨어 인터페이스에 의해 정밀하게 제어되는 실험실용 초음파 스프레이 열분해 장비입니다. 스테퍼 모터로 제어되는 용적식 펌프는 요구 사항에 따라 솔루션을 분배하는 데 사용됩니다. 초음파 스프레이 헤드는 박막 코팅을 제공하며 균일한 코팅을 보장하기 위해 X 및 Y 방향의 선형 스테이지 구동 스테퍼 모터에 의해 움직임이 제어됩니다. 노즐의 압축 공기 압력을 변경하여 스프레이 패턴과 속도를 조정할 수 있습니다. 기판 히터 플레이트의 온도는 전용 컨트롤러를 통해 독립적으로 제어됩니다.

분무 열분해는 가열된 표면에 용액을 분무하여 박막을 증착하고 구성 성분이 반응하여 화합물을 형성하는 과정입니다. 이 공정은 산화물 증착에 특히 유용하며 유리 기판에 산화주석(SnO2) 또는 산화주석의 투명한 전기 전도체를 적용하기 위한 제조 방법으로 오랫동안 사용되어 왔습니다. 이제 이 기술은 페로브스카이트 태양 전지와 같이 페로브스카이트 박막을 제조하는 데 점점 더 많이 사용됩니다.