웨이퍼용 초음파 스프레이 포토레지스트 코팅
웨이퍼용 초음파 스프레이 포토레지스트 코팅 100~300mm 웨이퍼용 초음파 스프레이 포토레지스트 코팅. 스핀 코팅으로는 도달할 수 없는 MEMS 및 고종횡비 형상에 탁월한 단차 커버리지 제공. 문의하기 USP6000 웨이퍼용 초음파 스프레이 포토레지스트 코팅 치어소닉은 반도체 산업에서 기존 스핀 코팅 방식을 대체하는 웨이퍼 레벨 초음파 코팅 시스템을 제공하여 포토리소그래피 공정에 탁월한 박막 균일성, 공정 제어 및 재료 효율성을 제공합니다. 완전 밀폐형 독립 초음파 코팅 [...]

