초음파 포토레지스트 코팅기
초음파 포토레지스트 코팅기 – MEMS 웨이퍼용 포토레지스트 스프레이 – Cheersonic
초음파 스프레이 코팅 기계 UAM6000은 새로운 스프레이 및 제어 기술을 결합하여 보다 균일하고 밀도가 높으며 제어 가능한 박막 코팅을 달성합니다. 이 장비는 초음파, 캐리어 가스, 가열 플레이트, 진공 흡착 및 배기 가스 배출과 같은 여러 시스템을 통합합니다. 동시에 중형 및 대규모 생산 유형 필름 준비에 적합한 모든 범위의 초음파 노즐에 적용 할 수 있습니다. UAM6000은 다양한 지형을 가진 MEMS 웨이퍼 및 기타 기판용 포토레지스트 스프레이에 널리 사용되었습니다.
- 접착 촉진제와 포토레지스트는 초음파 노즐로 코팅되어야 합니다. 액체 주입 시스템의 정확한 제어와 합리적으로 설계된 분무 방법이 결합되어 기판을 균일하고 효율적으로 분무합니다.
- 후속 분무에 편리한 가열 기능을 시작합니다.
- 액체를 주입구 시스템에 넣고 초음파 노즐에 주입하고 초음파 주입 펌프를 사용하여 노즐의 작동 상태를 확인합니다.
- 분무할 터치스크린에서 실험적 분무 방법 및 분무 매개변수를 선택합니다.
Cheersonic은 정밀한 박막 코팅을 적용하여 마이크로일렉트로닉스/전자공학, 대체 에너지, 의료 및 산업 시장을 위한 부품 및 구성요소의 표면을 보호, 강화 또는 매끄럽게 하기 위해 정밀한 박막 코팅을 적용하는 초음파 코팅 시스템의 선두 개발 및 제조업체입니다. 자동차.
