마스크 리소그래피
현재 글로벌 코어 부족의 지속적인 확산으로 인해 칩 문제가 널리 주목받고 있습니다. 칩 제조 산업의 핵심 장비인 리소그래피 기계는 산업의 초점이라고 할 수 있습니다.
칩 제조에서 리소그래피는 중요한 연결 고리입니다. 포토리소그래피는 빛의 작용하에 포토레지스트의 도움으로 마스크(포토마스크라고도 함)의 패턴을 웨이퍼에 전사하는 기술을 말합니다. 이것은 필름 카메라에서 필름을 노출시킨 후 네거티브를 사용하여 사진을 현상하는 과정과 약간 비슷하지만 이 과정이 사진 현상보다 훨씬 복잡하고 번거롭습니다.
리소그래피의 공정 수준은 칩의 공정 수준과 성능 수준을 직접적으로 결정하기 때문에, 리소그래피는 칩 제조에서 가장 복잡하고 중요한 공정 단계가 되었습니다. 업계에는 “집적회로는 정보화 시대의 왕관, 리소그래피 기술은 왕관의 보석”이라는 말이 있습니다.
리소그래피 기술은 현대 반도체, 마이크로일렉트로닉스, 정보산업의 근간이라고 할 수 있으며, 리소그래피 기술은 이러한 기술의 발전 수준을 직접적으로 결정합니다. 1959년 집적회로가 성공적으로 발명된 이후 거의 60년 동안 패턴의 선폭은 약 100배 감소했으며 회로 집적도는 6배 이상 향상되었습니다. 이러한 기술의 급속한 발전은 리소그래피 기술의 명성과 불가분의 관계에 있습니다.
마스크 가격 “모든 보트 상승”
리소그래피 공정은 제조 공정에서 가장 중요한 단계입니다. 리소그래피는 칩의 중요한 치수를 결정하며 전체 칩 제조 공정에서 전체 제조 비용의 약 35%를 차지합니다.
일반적으로 칩 생산 라인에 필요한 일반 장비와 재료는 비슷하지만 칩 제조 공정의 지속적인 개선으로 필요한 장비의 정밀도가 높아지고 재료의 순도가 높아지면 생산 비용이 발생합니다. 계속 상승하고 있지만 가장 빠르게 상승하는 것은 리소그래피 마스크의 비용입니다.
포토마스크, 포토마스크 등으로도 알려진 마스크는 마이크로일렉트로닉스 제조 공정의 패턴 전사 도구 또는 마스터입니다. 그 기능은 전통적인 카메라의 “네거티브 필름”과 유사합니다. , 그래픽 디자인 및 공정 기술의 캐리어인 마스크 기판에 마이크론 및 나노 크기의 미세 패턴을 조각합니다.
칩 제조 공정에서는 단일 노광이 불가능하고 제조 공정 중 다중 노광이 필요하므로 칩 제조 공정에서 여러 개의 정렬 작업을 수행해야 함(모든 노광을 교체해야 함 다른 마스크, 정렬 매번 마스크와 실리콘 웨이퍼 사이의 작동). 포토리소그래피 마스크 레이어의 수가 증가함에 따라 비용은 자연스럽게 증가하고 동시에 포토레지스트, 리소그래피, 에칭 및 기타 부수적인 공정 재료의 비용도 증가할 것입니다.
현재 공정 단계에서 리소그래피 마스크의 사용은 응용 전망을 결정할 수 있는 다양한 리소그래피 방법의 핵심 기술이 되었지만 동시에 마스크 비용이 전체 리소그래피 비용의 증가하는 부분을 설명할 수 있습니다.
원래 L Chenguang 반도체 산업 관찰
초음파 코팅 시스템은 고급 레이어링 기술을 사용하여 유량, 코팅 속도 및 증착량을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 저속 스프레이 성형은 분무 스프레이를 정밀하고 제어 가능한 패턴으로 정의하여 매우 얇고 균일한 층을 생성할 때 과도한 스프레이를 방지합니다. 초음파 기술을 사용한 직접 분사는 3D 미세 구조에 포토레지스트를 증착하는 안정적이고 효과적인 방법으로 밝혀졌으며, 이에 따라 에칭액에 과도한 금속 노출로 인한 장비 고장이 감소했습니다.
초음파 스프레이 시스템은 균일하고 반복 가능한 포토레지스트 또는 폴리이미드 필름 코팅이 필요한 다양한 응용 분야에 적합한 것으로 입증되었습니다. Cheersonic의 코팅 시스템은 서브미크론에서 100미크론 이상까지 두께를 제어할 수 있으며 모든 모양이나 크기를 코팅할 수 있습니다. 스핀 코팅 및 기존 스프레이 코팅과 같은 다른 코팅 기술에 대한 실행 가능한 대안입니다.
Cheersonic의 비차단 초음파 코팅 기술은 기능성 및 보호 재료의 초박형 마이크론층 코팅으로 유명합니다. 노즐의 초음파 진동은 현탁액에 입자를 효과적으로 분산시키고 필름 층에 매우 균일한 입자 분산을 생성한 반면 전도성 입자는 현탁액에서 침전되지 않았습니다.
Cheersonic은 정밀한 박막 코팅을 적용하여 마이크로일렉트로닉스/전자공학, 대체 에너지, 의료 및 산업 시장을 위한 부품 및 구성요소의 표면을 보호, 강화 또는 매끄럽게 하기 위해 정밀한 박막 코팅을 적용하는 초음파 코팅 시스템의 선두 개발 및 제조업체입니다. 자동차.
