초음파 분무 포토레지스트의 장점

초음파 분무 기술을 포토레지스트 코터 기계에 도입하면 여러 가지 장점이 있습니다.

1. 균일한 코팅: 초음파 분무는 미세한 포토레지스트 안개를 생성하여 복잡한 기판에 균일한 적용을 보장하고 불균일한 적용과 관련된 결함을 줄입니다.

2. 재료 효율성: 이 기술은 미세한 포토레지스트의 양을 최적화하여 낭비를 최소화하며, 미세한 입자 크기와 분포를 정확하게 제어할 수 있습니다.

3. 다재다능함: 초음파 분무는 다양한 포토레지스트 제형을 수용할 수 있어 공정 개발 및 적용에 유연성을 제공합니다.

4. 건조 시간 단축: 미세한 입자가 더 빨리 증발하여 전체 코팅 공정을 가속화하고 처리량을 향상시킬 수 있습니다.

5. 향상된 해상도: 미세한 입자 크기에 대한 제어가 개선되어 고해상도 포토리소그래피 응용 분야에 필수적인 미세한 패턴과 세부 정보가 가능합니다.

6. 운영 비용 절감: 재료 낭비 감소와 빠른 처리가 결합되어 제조 비용을 절감할 수 있습니다.

전반적으로, 포토레지스트 코팅 공정에 초음파 분무를 통합하면 정밀성, 효율성, 유연성이 향상되어 현대 반도체 제조의 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

치어소닉 소개

Cheersonic은 마이크로전자공학/전자공학, 대체 에너지, 의료 및 산업 시장을 위한 부품 및 구성 요소의 표면을 보호, 강화 또는 매끄럽게 하기 위해 정밀한 박막 코팅을 적용하기 위한 초음파 코팅 시스템의 선도적인 개발 및 제조업체입니다. 자동차.

당사의 코팅 솔루션은 환경 친화적이고 효율적이며 신뢰성이 높으며 과다 분무, 원료, 물 및 에너지 사용을 크게 줄이고 공정 반복성, 전달 효율성, 높은 균일성 및 배출량 감소를 제공합니다.