마스크 리소그래피
마스크 리소그래피 현재 글로벌 코어 부족의 지속적인 확산으로 인해 칩 문제가 널리 주목받고 있습니다. 칩 제조 산업의 핵심 장비인 리소그래피 기계는 산업의 초점이라고 할 수 있습니다. 칩 제조에서 리소그래피는 중요한 연결 고리입니다. 포토리소그래피는 빛의 작용하에 포토레지스트의 도움으로 마스크(포토마스크라고도 함)의 패턴을 웨이퍼에 전사하는 기술을 말합니다. 이것은 필름 카메라에서 필름을 노출시킨 후 네거티브를 사용하여 사진을 현상하는 과정과 약간 비슷하지만 이 과정이 사진 현상보다 훨씬 복잡하고 번거롭습니다. 리소그래피의 공정 수준은 칩의 [...]

