Sprühbeschichtung Fotolack
Sprühbeschichtung Fotolack – Ultraschalldüse – Cheersonic
Fotolackbeschichtungen werden in der Herstellung elektronischer und mikroelektromechanischer (MEMS-)Bauelemente eingesetzt. Fotolacke sind in der Regel Polymermaterialien, die durch Lichteinwirkung verstärkt werden (z. B. durch Vernetzung negativer Fotolacke) oder sich auflösen (positive Fotolacke). Licht wird verwendet, um die Fotolackbeschichtung auf dem Substrat zu strukturieren; dieses Verfahren wird als Fotolithografie bezeichnet. Anschließend wird das mit Fotolack beschichtete Substrat, üblicherweise zur Vorbereitung des Ätzens und/oder Aufbringens anderer Funktionsmaterialien, einem speziellen Lösungsmittel oder einer Lösung (Entwickler) ausgesetzt, um unerwünschten Widerstand zu entfernen.
Ultraschallspritzen ist ein einfaches, wirtschaftliches und reproduzierbares Verfahren für Fotolack- und Polyimidbeschichtungen. Das Ultraschallbeschichtungssystem von Cheersonic nutzt eine einfache Schichttechnologie zur präzisen Steuerung von Durchflussrate, Beschichtungsgeschwindigkeit und Auftragsmenge. Beim Niedriggeschwindigkeits-Sprühspritzen wird ein präzises und kontrollierbares Sprühmuster erzeugt, um übermäßigen Sprühnebel bei der Herstellung einer sehr dünnen und gleichmäßigen Schicht zu vermeiden.
Fotolackabscheidung für die Mikroelektronik – Jenseits von Wafern
Das traditionelle Spin-Coating dominierte lange Zeit die Fotolackabscheidung für die Halbleiterwaferbearbeitung, stößt jedoch bei der Fertigung moderner Mikroelektronik mit nicht standardisierten Substraten an seine Grenzen. Für große Flachbildschirme, übergroße optische Linsen sowie gekrümmte und freigeformte optische Komponenten ist die Spin-Coating-Technologie aufgrund ihrer hohen Anforderungen an Substratebenheit und -größe nicht mehr praktikabel. Als Antwort auf dieses Problem hat sich die Ultraschall-Sprühbeschichtung als überlegene Alternative zur Fotolackbeschichtung etabliert.
Dieses fortschrittliche Beschichtungsverfahren ermöglicht die Erzeugung hochgradig gleichmäßiger Fotolackfilme auf der gesamten Oberfläche verschiedenster Substrate und komplexer mikro-nanostrukturierter Bereiche. Es eliminiert effektiv das bei Spin-Coating-Prozessen häufig auftretende Randwulstphänomen und optimiert die Ebenheit und Gleichmäßigkeit der Beschichtungsfilme in allen Bereichen. Dank dieses technologischen Vorteils lassen sich Antireflexbeschichtungen, diffraktive optische Strukturen und andere zentrale Lithographieprozesse stabil durchführen. Das Verfahren vermeidet Flüssigkeitsansammlungen, Streifenbildung und andere Beschichtungsfehler vollständig und verbessert so die Ausbeute und Präzision der Fertigung optischer und mikroelektronischer Komponenten erheblich.
In den aufstrebenden Bereichen Mikrofluidik, Biosensorik und flexible Elektronikfertigung zeigt Sprühlack seine herausragende Gesamtleistung. Er ermöglicht die Bildung ultradünner Filme mit exzellenter Gleichmäßigkeit und Lösungsmittelbeständigkeit und zeichnet sich gleichzeitig durch hervorragende Substrathaftung und hohe Mustergenauigkeit aus. Damit erfüllt er die strengen Anforderungen der Mikroverarbeitung flexibler Rolle-zu-Rolle-Folien und Metallfolien. Darüber hinaus bietet die Technologie eine hohe Materialtransfer-Effizienz und präzise, geschlossene automatische Regelsysteme. Sie reduziert den Lösungsmittelverbrauch und den Materialverlust von Fotolack deutlich und gewährleistet gleichzeitig eine stabile und gleichmäßige Dicke der dielektrischen und Polymerfilme auf jedem Substrat. Dies senkt nicht nur die Produktionskosten, sondern verbessert auch die Konsistenz und Zuverlässigkeit der Serienfertigung mikroelektronischer Produkte.
Über Cheersonic
Cheersonic ist führender Entwickler und Hersteller von Ultraschall-Beschichtungssystemen für die präzise Applikation von Dünnschichtbeschichtungen. Diese dienen dem Schutz, der Verstärkung und der Glättung von Oberflächen an Bauteilen und Komponenten für die Mikroelektronik/Elektronik, alternative Energien, Medizintechnik und Industrie, einschließlich spezieller Glasanwendungen im Bauwesen und der Automobilindustrie.
Die Lösungen des Unternehmens sind umweltfreundlich, effizient und äußerst zuverlässig. Sie ermöglichen eine deutliche Reduzierung von Sprühnebel, Einsparungen bei Rohstoffen, Wasser und Energie sowie eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit, Übertragungseffizienz, hohe Gleichmäßigkeit und reduzierte Emissionen.
Die Wachstumsstrategie von Cheersonic konzentriert sich darauf, innovative Technologien, firmeneigenes Know-how, einzigartige Talente und Erfahrung sowie die globale Reichweite des Unternehmens zu nutzen, um Dünnschichtbeschichtungstechnologien weiterzuentwickeln und so bessere Ergebnisse für die Produkte und Prozesse seiner Kunden zu erzielen. Weitere Informationen finden Sie unter https://cheersonic-liquid.com/ .
