Megaschallreinigung für die Waferbearbeitung
Megaschallreinigung für die Waferbearbeitung Megaschallreinigung für die Waferbearbeitung - Cheersonic Die Megaschallreinigung hat sich in zahlreichen Hightech-Bereichen, insbesondere bei der Waferbearbeitung in der Halbleiterfertigung, zu einer unverzichtbaren Schlüsseltechnologie entwickelt. Mit der Entwicklung immer kleinerer und leistungsfähigerer elektronischer Geräte steigt der Bedarf an ultrareinen Waferoberflächen stetig. Die Reinigung mit Hochfrequenzschallwellen entfernt Verunreinigungen effektiv, indem sie die Reinigungslösung durch die Emission hochfrequenter Schallwellen anregt, ohne die empfindliche Waferoberfläche zu beschädigen. [...]

