Fotolack-Werkzeug sprühen
Fotolack-Werkzeug sprühen Fotolack-Werkzeug sprühen - Ultraschall-Sprühsystem - Cheersonic UAM4000L ist ein vollständig geschlossenes unabhängiges Ultraschall-Beschichtungssystem zum Aufsprühen von Photoresist auf 4", 6" und 8"-Wafer in der Entwicklung und Herstellung von Präzisionshalbleitern. Das System hat eine hohe Gleichmäßigkeit, auch für schwierige Teile mit hohen Aspektverhältnissen. Cheersonics UAM4000L wurde für Prozesse entwickelt, bei denen die Schleuderbeschichtung keine ausreichend tiefen Rillen mit einem gleichmäßigen MEM-Abdeckungsverhältnis mit hohem Aspektverhältnis bereitstellen kann. UAM4000L [...]

