Wirtschaftliche Alternativen zur Dünnschichtabscheidung
Wirtschaftliche Alternativen zur Dünnschichtabscheidung In der heutigen Fertigungslandschaft von Photovoltaik-Technologien und hochentwickelten elektronischen Bauelementen bestimmen Leistung und Kosten von Dünnschichtabscheidungsprozessen direkt die Wettbewerbsfähigkeit der Endprodukte. Traditionelle Vakuumabscheidungstechnologien wie das Sputtern werden seit Langem zur Herstellung funktionaler Schichten für verschiedene Dünnschichtsolarzellen eingesetzt, beispielsweise für Metallelektroden, transparente leitfähige Oxide und partielle Absorptionsschichten. Solche Vakuumanlagen sind jedoch von Natur aus kostspielig und arbeiten typischerweise im Batch-Betrieb. Dies begrenzt nicht nur die [...]

