Beschichtung Photoresists durch Ultraschallsprühdüsen
Beschichtung Photoresists durch Ultraschallsprühdüsen Cheersonic wendet Beschichtung photoresists durch Ultraschallsprühdüsen an. Cheersonic Ultraschallbeschichtungssysteme ermöglichen eine feine Kontrolle der Durchflussrate, der Beschichtungsgeschwindigkeit und der Abscheidungsmenge unter Verwendung einer fortschrittlichen Schichttechnik. Die Spritzformung mit niedriger Geschwindigkeit definiert das zerstäubte Spray in präzise, kontrollierbare Muster, vermeidet Überspray und erzeugt sehr dünne, gleichmäßige Schichten. Die direkte Sprühbeschichtung mittels Ultraschalltechnologie hat sich als zuverlässige und effektive Methode zur Abscheidung von Fotolack auf 3D-Mikrostrukturen [...]

