Halbleiter Beschichtung
Das Ultraschallbeschichtungssystem kann eine fortschrittliche Schichttechnologie verwenden, um die Durchflussrate, die Beschichtungsgeschwindigkeit und die Auftragsmenge präzise zu steuern. Das Sprühformen mit niedriger Geschwindigkeit definiert ein zerstäubendes Sprühen als ein präzises, kontrollierbares Muster, das ein übermäßiges Sprühen vermeidet, wenn sehr dünne und gleichmäßige Schichten erzeugt werden. Es stellt sich heraus, dass direktes Sprühen mit Ultraschalltechnologie eine zuverlässige und effektive Methode ist, um Fotolack auf 3D-Mikrostrukturen abzuscheiden, wodurch Geräteausfälle reduziert werden, die durch übermäßigen Kontakt von Metall mit Ätzmittel verursacht werden.
Ultraschallsprühsysteme haben sich für eine Vielzahl von Anwendungen als geeignet erwiesen, die gleichmäßige, wiederholbare Fotolack- oder Polyimidfilmbeschichtungen erfordern. Das Beschichtungssystem von Cheersonic kann Dicken von Submikron bis über 100 Mikron steuern und jede Form und Größe beschichten. Es ist eine praktikable Alternative zu anderen Beschichtungstechnologien wie Schleuderbeschichtung und herkömmlicher Sprühbeschichtung.
Die blockierungsfreie Ultraschallbeschichtungstechnologie von Cheersonic ist bekannt für ihre ultradünnen Beschichtungen im Mikrometerbereich aus Funktions- und Schutzmaterialien. Die Ultraschallvibration der Düse dispergierte die Teilchen in der Suspension wirksam und erzeugte eine sehr gleichmäßige Teilchendispersion in der Filmschicht, während sich die leitfähigen Teilchen nicht aus der Suspension absetzten.
ULTRASCHALL-BESCHICHTUNGSTECHNOLOGIEN FÜR HALBLEITER
Ultraschallsprühen von Photoresist für MEMS-Wafer und andere Substrate mit unterschiedlichen Topographien
- Gleichmäßige Dünnfilmabdeckung verschiedener Oberflächenprofile
- Hohe Einheitlichkeit und Einheitlichkeit
- Berührungsloses Sprühen
- Mikroströmungssprühen, mehrere Flüssigfütterungsschemata
- Genauigkeit der Hochgeschwindigkeitssteuerung
- Hohe Flüssigkeitsausnutzung
- Fähigkeit zur Abscheidung dünner Einzel-Mikron-Schichten mit hoher Gleichmäßigkeit
- Reproduzierbares, bewährtes Sprühverfahren
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