USP6000 Ультразвуковое нанесение фоторезиста
Компания Cheersonic предлагает системы ультразвукового нанесения покрытий на уровне пластин, которые заменяют традиционные методы центрифужного нанесения покрытий в полупроводниковой промышленности, обеспечивая непревзойденную однородность пленки, контроль процесса и эффективность использования материалов для фотолитографического процесса.
Установка USP6000, представляющая собой независимый, полностью закрытый ультразвуковой блок нанесения покрытий, предназначена для сверхточного производства полупроводников, включая микроэлектромеханические системы (MEMS) и структуры с глубокими канавками на подложках, предлагая комплексное решение для нанесения покрытий на кремниевые пластины диаметром 100, 150, 200 и 300 мм.
Она адаптирована для процедур нанесения фоторезистов и защитных покрытий, требующих точности на микронном уровне, идеально подходит для глубоких канавок и компактных компонентов MEMS. Технология высокоточного ультразвукового напыления Cheersonic решает эту проблему, обеспечивая нанесение высокооднородных, бездефектных пленочных покрытий на сложные топографии пластин и на широкий спектр подложек, включая кремний и керамику.
Совершенствуйте свой процесс.
Функции
• Вакуумный держатель для пластин с равномерным нагревом, поддерживающий пластины размером 100–300 мм
• Автоматизированный комплект подъемных штифтов для пластин
• Воспроизводимый прецизионный шприцевой насос с автоматической заправкой жидкости
• Двухпозиционный вращающийся распылительный блок
• Встроенная система отвода воздуха по всему периметру снизу для быстрого удаления аэрозоля, образующегося при нанесении покрытия
• Вход для подачи чистого воздуха с HEPA-фильтром
• Автоматическая продувка форсунки и функция самоочистки
• Защитное кольцо вокруг форсунки для сбора чистящего растворителя и остатков распыления
• Встроенный датчик уровня жидкости в резервуарах для фоторезиста
Основные характеристики
• Габариты: 1800*1200*1940 мм
• Рабочая зона: 500 x 500 x 100 мм*
• Диапазон ширины распыления: 2 мм — 70 мм (0,080-2,75 дюйма)
• Диапазон расхода: 1 мкл/мин – 30 мл/мин
• Повторяемость осаждения: ± 2%
• Повторяемость: 0,025 мм (0,001 дюйма)
• Разрешение: 0,015 мм (0,0006 дюйма)
• Фоточувствительное освещение: УФ-безопасное освещение 590 нм
• Нагреваемый держатель пластины (с креплением пластины): стандартный 200 мм (опционально 100, 150 и 300 мм)
Чтобы связаться с нами в любое время по электронной почте, заполните форму ниже и сделайте запрос, и представитель компании ответит вам. Чтобы найти вашего местного представителя CHEERSONIC для прямого подключения, щелкните по региону в выпадающем меню контакта.
Свяжитесь с Cheersonic, чтобы немедленно получить помощь, и свяжитесь с нами в штаб — квартире компании в часы работы с 6: 00 до 10: 00.
- Тел.: + 86 (571) 8791 — 0406
- Мобильный телефон: + 86 15869049660
- Электронная почта Market2@cheersonic.com
- Адрес: Changkou Business Road, город Фуян, Ханчжоу, провинция Чжэцзян, Китай, 11 — 13
