USP6000WS Система ультразвукового нанесения фоторезиста
Компания Cheersonic предлагает системы ультразвукового нанесения покрытий на уровне пластин, которые заменяют традиционные методы центрифужного нанесения покрытий в полупроводниковой промышленности, обеспечивая непревзойденную однородность пленки, контроль процесса и эффективность использования материалов для фотолитографического процесса.
Разработанная специально для сверхточной обработки полупроводниковых пластин, платформа USP6000WS представляет собой полностью автоматизированную систему ультразвукового распыления фоторезиста, оснащенную интегрированными роботизированными модулями транспортировки пластин.
В этом оборудовании используется проверенная в полевых условиях технология ультразвукового распыления Cheersonic в сочетании с двухкассетной системой транспортировки пластин. Вся последовательность обработки пластин выполняется автоматически — включая подачу, точное позиционирование, осаждение тонких пленок и выгрузку готовых пластин — для получения воспроизводимых, исключительно однородных слоев фоторезиста без какого-либо ручного вмешательства. В стандартной комплектации она подходит для пластин диаметром 100 мм, 150 мм и 200 мм, а комплект для обработки пластин диаметром 300 мм предлагается в качестве дополнительной опции.
Совершенствуйте свой процесс.
Функции
• Равномерный нагреваемый вакуумный держатель пластин, поддерживающий пластины размером 100–300 мм
• Автоматизированный комплект подъемных штифтов для пластин
• Воспроизводимый прецизионный шприцевой насос с автоматической заправкой жидкости
• Двухпозиционный вращающийся распылительный блок
• Встроенная система отвода воздуха по всему периметру снизу для быстрого удаления аэрозоля от покрытия
• Вход для подачи чистого воздуха с HEPA-фильтром
• Автоматическая продувка форсунки и функция самоочистки
• Защитное кольцо вокруг держателя для сбора чистящего растворителя и остатков распыления
• Встроенный датчик уровня жидкости в резервуарах для фоторезиста
• Нагреваемый держатель пластин (с фиксатором пластины): стандартный размер 200 мм (опционально 100, 150 и 300 мм)
• Двухкассетная конструкция: стандартная поддержка пластин 100/150/200 мм; совместимость с пластинами 300 мм доступна по запросу
Основные характеристики
• Диапазон скорости потока: 1 мкл/мин – 30 мл/мин
• Повторяемость осаждения: ± 2%
• Повторяемость: 0,025 мм (0,001 дюйма)
• Разрешение: 0,015 мм (0,0006 дюйма)
• Фоточувствительное освещение: УФ-безопасное освещение 590 нм
• Одноосевой роботизированный манипулятор: Оснащен быстродействующими бесщеточными двигателями и трансмиссией с нулевым люфтом для превосходной точности позиционирования
• Функция автоматической идентификации и сканирования кассет: Автономно определяет положение пластин и формирует очереди обработки
• Пригодность для чистых помещений: Соответствует экологическим стандартам чистых помещений класса 1
• Срок службы робота: Среднее время безотказной работы (MTBF) превышает 60 000 часов
• Требования к питанию: 220-240 В переменного тока, 50/60 Гц, 16 А
• Сертификаты: CE, FDA
Чтобы связаться с нами в любое время по электронной почте, заполните форму ниже и сделайте запрос, и представитель компании ответит вам. Чтобы найти вашего местного представителя CHEERSONIC для прямого подключения, щелкните по региону в выпадающем меню контакта.
Свяжитесь с Cheersonic, чтобы немедленно получить помощь, и свяжитесь с нами в штаб — квартире компании в часы работы с 6: 00 до 10: 00.
- Тел.: + 86 (571) 8791 — 0406
- Мобильный телефон: + 86 15869049660
- Электронная почта Market2@cheersonic.com
- Адрес: Changkou Business Road, город Фуян, Ханчжоу, провинция Чжэцзян, Китай, 11 — 13
