Фоторезист для напыления

Фоторезист для напыления — ультразвуковая насадка

Фоторезистивные покрытия могут использоваться в производстве электронных устройств и микроэлектромеханических (МЭМС) устройств. Фоторезисты, как правило, представляют собой полимерные материалы, которые улучшаются под воздействием света (т.е. путем сшивания негативных фоторезистивных материалов) или растворяются (позитивные фоторезистивные материалы). Свет используется для нанесения фоторезистивного покрытия на подложку; этот метод называется фотолитографией. Затем, обычно при подготовке к травлению и/или нанесению других функциональных материалов на подложку, подложка с покрытием из фоторезиста подвергается воздействию определенного растворителя или раствора (называемого проявителем) для удаления нежелательного сопротивления. Травящий агент.

Ультразвуковое напыление — это простой, экономичный и воспроизводимый процесс нанесения фоторезистивных и полиимидных покрытий. Система ультразвукового нанесения покрытий Cheersonic позволяет использовать простую технологию послойного нанесения для точного контроля скорости потока, скорости нанесения покрытия и объема осаждения. Низкоскоростное распыление обеспечивает точное и контролируемое распыление, позволяя избежать чрезмерного распыления при получении очень тонкого и однородного слоя.

Нанесение фоторезиста для микроэлектроники – за пределами кремниевых пластин

Традиционное центрифужное нанесение фоторезиста долгое время доминировало в обработке полупроводниковых пластин, однако оно сталкивается с присущими ему ограничениями в передовом микроэлектронном производстве с использованием нестандартных подложек. Для больших плоских дисплеев, оптических линз увеличенного размера, а также изогнутых и произвольных оптических компонентов технология центрифужного нанесения больше не является практичной из-за жестких требований к плоскостности и размерам подложки. В ответ на эту проблему в отрасли появилась технология ультразвукового распыления в качестве превосходной альтернативы для нанесения фоторезиста.
Этот передовой метод нанесения способен формировать высокооднородные пленки фоторезиста по всей поверхности различных подложек и сложных микро- и наноструктурных элементов. Он эффективно устраняет распространенное явление образования краевых бусин, характерное для центрифужного нанесения, оптимизируя плоскостность и однородность пленок покрытия во всех областях. Благодаря этому технологическому преимуществу можно стабильно осуществлять изготовление антиотражающих покрытий, дифракционных оптических структур и других основных процессов литографии. Данный процесс полностью исключает скопление жидкости, полосы и другие дефекты покрытия, что значительно повышает выход годной продукции и точность обработки оптических и микроэлектронных компонентов.

В развивающихся областях микрофлюидики, биосенсоров и гибкого электронного производства фоторезист, наносимый методом распыления, демонстрирует более выдающиеся комплексные характеристики. Он позволяет формировать сверхтонкие пленки с превосходной однородностью и устойчивостью к растворителям, обеспечивая при этом отличную адгезию к подложке и высокую точность рисунка, что отвечает строгим требованиям микрообработки гибких рулонных пленок и металлических фольг. Кроме того, технология отличается высокой эффективностью переноса материала и точными системами автоматического управления с обратной связью. Она значительно снижает расход растворителя для фоторезиста и количество отходов материала, обеспечивая при этом стабильную и постоянную толщину диэлектрических и полимерных пленок на каждой подложке. Это не только снижает производственные затраты, но и повышает стабильность и надежность серийного производства микроэлектронной продукции.

О компании Cheersonic

Компания Cheersonic является ведущим разработчиком и производителем ультразвуковых систем нанесения покрытий для точного нанесения тонких пленок, предназначенных для защиты, упрочнения или выравнивания поверхностей деталей и компонентов для микроэлектроники/электроники, альтернативной энергетики, медицины и промышленности, включая специализированные применения в стекольной промышленности, строительстве и автомобилестроении.
Решения компании являются экологически чистыми, эффективными и высоконадежными, позволяют значительно сократить избыточное распыление, сэкономить сырье, воду и энергию, а также улучшить повторяемость процесса, эффективность переноса, высокую однородность и снизить выбросы.

Стратегия роста компании Cheersonic сосредоточена на использовании инновационных технологий, собственных ноу-хау, уникальных талантов и опыта, а также глобального охвата для дальнейшего развития технологий нанесения тонкопленочных покрытий, которые позволяют улучшить результаты для продукции и процессов ее клиентов. Для получения дополнительной информации посетите https://cheersonic-liquid.com/ .