Pulverización ultrasónica de fotorresistencia de obleas MEMS
Pulverización ultrasónica de fotorresistencia de obleas MEMS – Cheersonic
Durante la última década, se han rociado recubrimientos fotorresistentes directamente sobre obleas MEMS y otras microestructuras 3D, y se han estudiado ampliamente las ventajas de la deposición por rociado en topografía 3D.
En comparación con el recubrimiento giratorio tradicional, el recubrimiento fotorresistente por pulverización ultrasónica tiene la ventaja de depositar un recubrimiento más uniforme, especialmente en la parte superior de las paredes laterales de zanjas de alta relación de aspecto y estructuras con ranuras en V, que no se pueden depositar mediante rotación centrífuga. Un recubrimiento uniforme forma un revestimiento uniforme. película a lo largo de las paredes laterales sin depositar un exceso de fotoprotector en el fondo de la cavidad.
La pulverización ultrasónica es un proceso simple, económico y repetible para el recubrimiento fotorresistente en el procesamiento de obleas litográficas. Los sistemas de recubrimiento ultrasónico utilizan técnicas de estratificación avanzadas para controlar con precisión la tasa de flujo, la tasa de recubrimiento y el volumen de deposición. La conformación del rociado a baja velocidad define el rociado atomizado como un patrón preciso y controlado, que evita el exceso de rociado y produce una capa muy delgada y uniforme. El rociado directo con tecnología ultrasónica ha demostrado ser un método confiable y efectivo para depositar fotoprotector en microestructuras 3D, lo que reduce las fallas del equipo causadas por la sobreexposición de metales al grabador.
Acerca de Cheersonic
Cheersonic es el desarrollador y fabricante líder de sistemas de revestimiento ultrasónico para aplicar revestimientos de película fina y precisos para proteger, fortalecer o alisar superficies en piezas y componentes para los mercados de microelectrónica/electrónica, energía alternativa, médico e industrial, incluidas aplicaciones de vidrio especializadas en la construcción y automotor.
Nuestras soluciones de recubrimiento son respetuosas con el medio ambiente, eficientes y altamente confiables, y permiten reducciones drásticas en el exceso de rociado, ahorros en materia prima, uso de agua y energía y brindan repetibilidad mejorada del proceso, eficiencia de transferencia, alta uniformidad y emisiones reducidas.
