Proceso de recubrimiento fotorresistente
Proceso de recubrimiento fotorresistente Proceso de recubrimiento fotorresistente - Deposición fotorresistente - Cheersonic La fotoprotección necesita formar una película uniforme en la superficie de la oblea, y el equipo de recubrimiento recubre la oblea con la fotoprotección bajo rotación de alta velocidad. El grosor de la fotoprotección se puede ajustar según la velocidad de rotación y la viscosidad de la fotoprotección. Cuanto mayor sea la velocidad de rotación, [...]