Proceso de recubrimiento fotorresistente
Proceso de recubrimiento fotorresistente – Deposición fotorresistente – Cheersonic
La fotoprotección necesita formar una película uniforme en la superficie de la oblea, y el equipo de recubrimiento recubre la oblea con la fotoprotección bajo rotación de alta velocidad. El grosor de la fotoprotección se puede ajustar según la velocidad de rotación y la viscosidad de la fotoprotección. Cuanto mayor sea la velocidad de rotación, más delgada será la película y cuanto mayor sea la viscosidad de la fotoprotección, mayor será el espesor de la película.
Con este método, la mayor parte del pegamento se tira al girar, lo que es un gran desperdicio. Por lo tanto, durante un período de tiempo, se exploró el uso de gas como material para formar una película fotorresistente mediante polimerización por plasma y otros métodos. Sin embargo, debido a la gran capacidad de procesamiento y al proceso simple del método de recubrimiento por rotación, este método se ha vuelto más maduro y se ha convertido en la primera opción.
Dado que la fotoprotección se solidifica en el aire, antes de recubrir la oblea, deseche una pequeña cantidad de fotoprotección de la boquilla para asegurarse de que la fotoprotección nueva siempre gotee.
Aparecerá una porción ligeramente más gruesa en el borde de la oblea, lo que se conoce como acumulación en el borde. Para reducir esto, realice el enjuague de bordes y la función de enjuague posterior para evitar que el fotoprotector fluya hacia la parte posterior de la oblea.
La superficie de la oblea es generalmente altamente hidrófila, especialmente la fotoprotección positiva a veces no se puede recubrir bien. En este momento, para que la superficie de la oblea sea hidrófoba, se utiliza un disolvente orgánico llamado HMDS (hexametildisilano). para ser procesado.
Después de aplicar la fotoprotección, se requiere un tratamiento de prehorneado (horneado suave) para eliminar el solvente, por lo que el sistema de horneado (placa caliente) y la recubridora giratoria para el tratamiento térmico se disponen de manera continua en la línea de producción.
Máquina de recubrimiento por pulverización ultrasónica completamente automática, adecuada para recubrir uniformemente fotoprotector con alta resolución en la superficie del patrón de gran relación de aspecto, que puede cubrir eficazmente las paredes laterales y los bordes de las zanjas, evitar la acumulación de zanjas y ahorrar fotolitografía Al mismo tiempo, para delgado y sustratos frágiles, la aplicación de pegamento tipo rociado estático de la mesa de obleas puede evitar el riesgo de astillado del sustrato durante la rotación a alta velocidad. Los productos se pueden usar en empaques de alta gama, fabricación de MEMS y otros campos.
Ventajas del producto:
1. La atomización del cono de remolino puede cubrir uniformemente el borde y la parte inferior de los pasos de alta relación de aspecto
2. La etapa de calentamiento rotatorio ahorra fotoprotector de manera efectiva
3. Rociado estático en la mesa de obleas para evitar el riesgo de residuos de sustrato delgados y livianos
4. La boquilla tiene la función de limpieza automática por dentro y por fuera.
Áreas de aplicación:
embalaje de alta gama
campo OLED
MEMS
